Optische 3D-Profilometrie

Unsere Instrumente:

1. Eigenes optisches chromatisches konfokales Rastermikroskop

Fähigkeiten:

• 5-Achsen-Scanning, Messung von gekrümmten Oberflächen

• Laterale Auflösung: 1μm

• Senkrechte Genauigkeit: 0,1μm

• Messgeschwindigkeit: max. 20kHz

2. Filmetrics Profilm 3D-Weißlichtmikroskop

Leistungsmerkmale:

• 2-Achsen-Scanning, Messung von flachen Oberflächen

• Seitliche pontosság: 0.5μm

• Senkrechte Genauigkeit: 0.01μm