Optikai 3D profilometria
Eszközeink
1. Saját fejlesztésű optikai kromatikus konfokális pásztázó mikroszkóp
Képességek:
• 5 tengelyes szkennelés, görbült felületek mérése
• Laterális pontosság: 1μm
• Merőleges pontosság: 0.1μm
• Mérés sebessége: max. 20kHz
2. Filmetrics Profilm 3D fehér fényű mikroszkóp
Képességek:
• 2 tengelyes szkennelés, sík felületek mérése
• Laterális pontosság: 0.5μm
• Merőleges pontosság: 0.01μm